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PhoenixTM Temperaturmess-System für Contact-Firing Prozesse

Beim Contact-Firing Prozess werden die Kontaktstreifen mit dem Wafer verbunden. Der exakte Temperaturverlauf beeinflusst auch den Widerstand des Kontaktes und damit auch den Wirkungsgrad und die Lebensdauer. Die Vorgaben für die Vorwärmzone, die Hochtemperaturzone und auch die Kühlzone müssen exakt eingehalten und überprüft werden. Das PhoenixTM System ist eigens für diesen Prozess entwickelt: Der Hitzeschutzbehälter ist mit einer Isolation ausgerüstet, die den Temperaturen von über 900°C problemlos widersteht, dabei aber den Prozess nicht mit einer großen Masse belastet. Die Geometrie des Systems ist so gestaltet, dass die Masse über eine größere Länge verteilt ist und den Ofen nicht punktuell belastet. Mit weniger als 1kg Gewicht ist das PhoenixTM System das Leichtgewicht unter den Profiling Systemen.

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6 Kanal Datenlogger mit nur 9mm Höhe System-Masse nur 910gr Flacher Hitzeschutzbehälter mit Magnet Verschluss Mantelthermoelemente mit 0,5mm Durchmesser Halteklemme für Messfühler Thermal View Analyse Software


Für weitere Informationen kontaktieren sie uns unter: info@phoenixtm.de